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　　真空鍍膜機中的真空管道、靜態密封零部件（法蘭、密封圈等）的結構形式，應符合相關規定。
　　在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應安裝真空測量規管，分別測量各部位的真空度。當發現電場對測量造成干擾時，應在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
　　如果設備使用的主泵為擴散泵時，應在泵的進氣口一側裝設有油蒸捕集阱。
　　設備的鍍膜室應設有觀察窗，應設有擋板裝置。觀察窗應能觀察到沉積源的情況以及其他關鍵部位。